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O836Si硅中氧分析儀

O836Si旨在滿足硅產業對于分析的高靈敏度和高精度的要求。通過力可固態紅外檢測系統超高靈敏度與我們全新設計的進樣系統和可編程脈沖爐相結合,O836Si提供準確和精確的氧含量的結果,比如硅片材料中氧的分析結果。高靈敏度和高精度也被應用到其他金屬工業,比如電子工業中對高純度銅中氧含量的測定需求。

特征

非色散固態紅外檢測器,高精度,高分辨率

  • 可編程通過功率及電流控制的脈沖電極爐
  • 分析精度及準確度精確至0.01ppm級別
  • 低空白值,可翻轉的樣品加載入口,對于柱狀硅樣品也能保持測試結果的一致性
  • 峰值查找功能可以方便地顯示表面和基體氧化物峰值
  • 儀器全新的氣路設計需要更少的維修
  • 氧含量輸入采用ppma和ppmw格式